この記事のポイント：EKK Eagle Semicon（イーグル工業株式会社グループ、日本・東証プライム：6486）は半導体製造装置向けの磁性流体真空シール・メタルベローズ・回転ジョイントシールの専門サプライヤー。エッチング・CVD・スパッタ・イオン注入装置のウェハ搬送ロボット軸・プロセスチャンバーの回転部位を気密封止する磁性流体シールはEKKが世界的なリーダーであり、超クリーン真空環境での機密性確保という難題を解決する重要部品だ。
| 企業名 | EKK Eagle Semicon（イーグル工業株式会社グループ） |
|---|---|
| 証券コード | 東証プライム：6486（イーグル工業株式会社） |
| 主要製品 | 磁性流体真空シール・メタルベローズ・回転ジョイントシール・メカニカルシール |
| 適用装置 | クラスタツール・ウェハ搬送ロボット・エッチング・CVD・スパッタ・イオン注入装置 |
| 海外展開 | EKK Eagle America Inc. Semicon Division（サンノゼ）・グローバル展開 |
| 事業歴 | 半導体部門を2010年に独立、OEM実績多数 |
磁性流体シールとは何か
真空チャンバー内でウェハ搬送ロボットのアーム・ローテーションシャフト・プロセスステージを動かすには、回転軸を真空と大気の境界に通さなければならない。この「回転しながら気密を保つ」という矛盾した要求を解決するのが磁性流体シールだ。磁性流体（磁石に引き寄せられる特殊オイル）が磁場を形成した回転軸周囲で液体シールの役割を果たし、回転・摺動しながら10⁻⁸ Paレベルの超高真空を維持する——これがEKKが世界的リーダーである技術だ。
ポイント：磁性流体シールは可動シール部品がないため摩耗・パーティクル発生がなく、交換頻度が低い。半導体クリーンルームの超クリーン環境でパーティクルゼロを維持しながら回転軸を動かすには磁性流体シールが最適であり、EKKは世界の主要半導体装置メーカーに数十万個以上の実績を持つ。
主要製品
① 磁性流体真空シール（Magnetic Fluid Vacuum Seal）
半導体クラスターツールの搬送ロボット回転軸・プロセスチャンバーのウェハリフトピン・サセプター回転機構への採用が中心。10⁻⁸ Pa以下の超高真空・高温・腐食性ガス環境に対応したシリーズ設計があり、装置仕様に合わせたカスタム品を供給する。
② メタルベローズ（Metal Bellows）
ステンレス・インコネル等の薄肉金属板を溶接積層したアコーディオン型の真空密封部品。直線往復動作（ウェハリフトピン・バルブ操作軸）を気密封止しながら許容する特性があり、半導体装置の直動アクチュエーターで広く使われる。低アウトガス・耐腐食性・長寿命が求められる。
③ FKM/FFKM高性能Oリング・ゴム製品
EKKは独自のFKM（フッ素ゴム）・FFKM（パーフルオロゴム）モノマー製造から行う垂直統合型の高性能エラストマーメーカーでもある。次世代プラズマ耐性FFKM製品は、フッ素系エッチングガス環境での極端な耐化学性を持つシール材料として先端エッチャーのガスケット・Oリングに採用される。