半導体構造メディア編集– Author –

ATEサービス企業分析｜プローブカード部材・ポゴピン・テスト治具を供給する国内テスト周辺機器専門企業 この記事のポイント：ATEサービス株式会社は埼玉県所沢市に本社を置く日本のテスト周辺機器専門企業。プローブカード用部材・ポゴピン・テスト治具（...

結論：プロセスウィンドウとは、半導体製造において許容できる製品品質（CD・欠陥・電気特性等）を確保するための工程パラメータ（露光量・フォーカス・圧力等）の許容範囲。プロセスウィンドウが広いほど歩留まりが安定し、生産効率が高い。 プロセスウィ...

結論：熱酸化はシリコンを高温で酸化してSiO₂膜を形成する技術、RTA（Rapid Thermal Annealing）は短時間・高温熱処理でイオン注入後の活性化や膜質改善を行う技術。どちらも半導体前工程で欠かせない熱処理プロセスだ。 熱酸化とは 熱酸化はシリコンウェ...

結論：AMHS（Automated Material Handling System）は半導体工場でウェーハキャリア（FOUP）を自動搬送するシステム全体を指し、OHT（Overhead Hoist Transport）は天井走行型の自動搬送台車。工場の稼働率・スループット・品質を左右する重要インフラだ。...

結論：CMP（Chemical Mechanical Planarization：化学機械研磨）は、研磨パッドとスラリーを使ってウェーハ表面を化学的・機械的に研磨して平坦化する技術。多層配線・STI・銅ダマシンプロセスに必須で、Applied Materials・LAM Research・TELが装置市場を...

結論：レジスト塗布はウェーハ表面に光感応性樹脂（フォトレジスト）を均一塗布する工程、現像は露光後のレジストを薬液で選択的に溶解してパターンを形成する工程。フォトリソグラフィの最初と最後を担う重要工程だ。 フォトレジストとは フォトレジスト...

ATECOM TECHNOLOGY（艾德康科技）企業分析｜SiC・GaN・サファイアウェハを供給する台湾の半導体材料サプライヤー この記事のポイント：ATECOM TECHNOLOGY Co., Ltd.は1998年創業の台湾・台北を拠点とする半導体ウェハ材料サプライヤー。シリコンウェハに加...

この記事のポイント：ATECOは化学機械研磨（CMP）装置の消耗品供給とメンテナンス・リファービッシュ（装置再生）サービスを手がける米国企業。CMP工程のTCO（総保有コスト）削減ニーズに応える「アフターマーケット型」のビジネスモデルが特徴だ。 正式社...

この記事のポイント：アスザック（ASUZAC Inc.）は長野県に本社を置く日本のファインセラミックスメーカー。半導体製造装置向けウェハ搬送アームやサセプタ（保持具）など、超高純度・高耐熱が要求される消耗部品・構造部品を専業で製造する。装置メーカー...

この記事のポイント：AST（Advanced Spectral Technology）は近赤外（NIR）分光技術を核に、シリコンウェハの内部欠陥検出・アライメント検査を手がける米国の光学計測専門企業。プロセス装置の「目」として、非破壊・インライン検査を可能にする技術で差...