半導体用語集– category –

薬液供給設備は、洗浄・エッチング・CMPなどで使う高純度薬液を保管、調合し、製造装置へ安定供給するシステムです。

超純水設備は、半導体洗浄で使う不純物を極限まで除去した水を製造・循環供給する工場インフラです。

スクラバーは、半導体製造装置から排出される有害・反応性ガスを分解、吸収、除去する除害設備です。

ガスキャビネットは、特殊材料ガスのボンベを安全に収納し、製造装置へ供給する設備です。

ロードポートは、FOUPを製造装置へ受け渡し、密閉されたウェハ搬送環境へ接続するインターフェースです。

レシピは、半導体製造装置で処理条件と動作順序を定義する設定データです。

RFジェネレータは、プラズマ生成やイオン加速のための高周波電力を半導体製造装置へ供給する電源です。

サブファブは、クリーンルーム床下などに配置され、真空ポンプ、排ガス処理、冷却水、電源などを支える設備空間です。

ストッカーは、FOUPや材料容器を一時保管し、半導体工場の装置間搬送を平準化する自動倉庫です。