株式会社リガルジョイントは、最大瞬時流量800L/minに対応する水用集合配管「ウルトラマニホールド™」を2026年7月31日に発売する。半導体・FPD製造装置など、大流量の冷却水を必要とする産業装置向けに展開する。
最大800L/minに対応する樹脂製マニホールド
株式会社リガルジョイント(神奈川県相模原市)は、最大瞬時流量800L/minに対応する水用集合配管「ウルトラマニホールド™」を、2026年7月31日に発売すると発表した。
同製品は、2インチの母管を採用した大流量対応の樹脂製マニホールドである。1系統当たりの最大流量は80L/minで、最大10連まで構成できるため、装置全体では最大800L/minの流量に対応する。
同社によると、2インチ母管仕様で最大800L/minに対応する樹脂製マニホールドは、2026年7月時点で業界初としている。
設置スペースを75%、質量を70%削減
ウルトラマニホールド™は、従来の金属製ヘッダー配管と比較して、配管設備の小型化と軽量化を図った。
- 設置スペースを75%削減
- 質量を70%削減
- 施工所要時間を最大180分短縮
比較値はいずれも同社の金属製ヘッダー配管を基準としたもの。従来構成では約40kgだった質量を約12kgまで軽減できるとしている。
半導体製造装置では、装置内部に多数の冷却水系統が配置される。装置の高性能化に伴って必要な冷却水量が増える一方、配管に使用できるスペースは限られており、配管設備の小型化や施工時間の短縮が課題となっている。
設計からリーク試験まで完了した状態で納品
同社は、顧客から提供された系統図をもとに製品を設計し、組み立てとリーク試験まで完了した状態で納品する。
装置メーカー側で必要となる設計、部品調達、組み立て、検査などの工程を減らし、製造装置の組み立て期間短縮につなげる。複数の流量計やバルブをマニホールド上に集約することで、配管構成の標準化にも対応する。
半導体・FPD製造装置などに展開
主な用途は、産業装置に供給する冷却水の管理と監視である。対象業界として、半導体製造装置、FPD製造装置、工業炉、射出成形機などを想定する。
半導体製造装置では、プロセスチャンバー、電源、真空ポンプ、熱交換器など、複数の構成機器で冷却水が使用される。工程中に発生する熱を安定して除去することは、装置の連続稼働やプロセス条件の安定化に関係する。
ウルトラマニホールド™は、大流量の冷却水を複数系統へ分配し、それぞれの流量を管理することで、産業装置の安定稼働を支援する。
ウルトラマニホールド™の主な仕様
- 最大流量:1系統当たり80L/min
- 最大総流量:800L/min(10連構成時)
- 使用流体:工業用水、水
- 母管接続口径:Rc2
- 枝管接続口径:Rc3/8、Rc1/2、Rc3/4
- 接液部材質:PA、SUS304、SCS13
- 最高使用圧力:1.0MPa
- 連数:1~10連
樹脂製マニホールドの開発・製造技術を活用
大流量に対応する集合配管では、金属製ヘッダーが広く使用されてきた。一方、金属製配管は重量や設置スペースに加え、部品の調達、組み立て、溶接、検査などに時間を要する場合がある。
リガルジョイントは、これまでに蓄積してきた樹脂製マニホールドの設計・製造技術を活用し、大流量に対応するための強度設計と樹脂成形技術を開発した。専用試験設備を整備するとともに、性能評価の一部では近隣大学とも連携したという。
同社は1992年に「マジックマニホールド」、2004年に「スーパーマニホールド」、2006年に「ワールドマニホールド」の販売を開始しており、流量や用途に応じた集合配管製品を展開してきた。
2026年8月以降に出荷予定
ウルトラマニホールド™の受注開始日は2026年7月31日。出荷は2026年8月以降を予定しており、価格は個別見積もりとなる。
同社は今後、半導体製造装置メーカーをはじめ、大流量の冷却水配管を必要とする産業装置メーカーへの提案を進める。用途に応じた製品ラインアップについても拡充する方針である。
株式会社リガルジョイントについて
株式会社リガルジョイントは、神奈川県相模原市に本社を置く流体制御機器メーカー。1974年の創業以来、流体、ガス、真空、配管に関する技術を活用し、オリジナル製品の設計、開発、製造、販売を手掛けている。
流体制御機器、環境、受託製造、熱交換器の各事業を展開し、半導体・電子機器のほか、機械、化学、食品、畜産、医療などの分野へ製品を供給している。
出典:株式会社リガルジョイント「最大800L/min対応の大流量集合配管を発売」(2026年7月23日発表)
原文:PR TIMES掲載プレスリリース
※「業界初」「削減率」「施工時間」などの数値は株式会社リガルジョイントの調査および同社製品との比較によるものです。
【本件に関する報道関係者様からのお問合せ先】
株式会社リガルジョイント 広報企画課
HPお問合せフォーム:https://rgl.co.jp/contact/
