半導体製造設備・工場では、ウェハを安定して量産するFabの構造、ユーティリティ、搬送、自動化、装置運用を解説します。Foundry、IDM、Fabless、OSATの役割を整理したうえで、クリーンルーム、サブファブ、HEPA・ULPA、空調、超純水設備、ガスキャビネット、薬液供給、排ガススクラバーなどの工場インフラを紹介します。AMHS、OHT、ストッカー、FOUP、ロードポートによる自動搬送や、チャンバー、真空ポンプ、RFジェネレータ、MFCなどプロセス装置を構成する主要機器も扱います。さらに、レシピ、Tool of Record、稼働率、スループット、WPH、MTBF、MTTRといった生産・保全指標まで、半導体工場が24時間稼働し、高い歩留まりを維持するための設備用語を体系的にまとめています。設備エンジニア、生産技術、保全、工場計画に必要な基礎知識を、工程とのつながりから解説します。
